Microelectromechanical systems.

概要
作品: 91 作品在 36 項出版品 36 種語言
書目資訊
Principles and applications of NanoMEMS physics / by: (書目-語言資料,印刷品)
Introduction to microfabrication / by: (書目-語言資料,印刷品)
MEMS materials and processes handbook by: (書目-電子資源)
Feedback control of MEMS to atoms by: (書目-電子資源)
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