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雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation a...

于家生

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博客來

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = / 于家生撰
其他題名:	simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
其他題名:	simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source
作者:	于家生
其他作者:	陳炳宏
出版者:	民91[2002],
面頁冊數:	viii[4],95葉 : 圖,表格 ; 30公分
附註:	內容為中文
標題:	電漿 -

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
于家生

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source / simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source于家生撰 - 民91[2002] - viii[4],95葉 : 圖,表格 ; 30公分

內容為中文

碩士論文--國立東華大學電機工程研究所,2002

參考書目: 面 94-95

贈閱Subjects--Topical Terms:

2349732
電漿

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
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500 $a 指導教授: 陳炳宏
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