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雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation a...

于家生

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博客來

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /

Record Type:	Language materials, printed : Monograph/item
Title/Author:	雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = / 于家生撰
Reminder of title:	simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
remainder title:	simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source
Author:	于家生
other author:	陳炳宏
Published:	民91[2002],
Description:	viii[4],95葉 : 圖,表格 ; 30公分
Notes:	內容為中文
Subject:	電漿 -

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
于家生

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source / simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source于家生撰 - 民91[2002] - viii[4],95葉 : 圖,表格 ; 30公分

內容為中文

碩士論文--國立東華大學電機工程研究所,2002

參考書目: 面 94-95

贈閱Subjects--Topical Terms:

2349732
電漿

雙頻觸發電容式電漿源特殊性模擬與分析 = = simulation and characteristic analysis of a dual frequency capacitive plasma source /
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