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晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evalu...
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張振平
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晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = / 張振平研究主持
其他題名:
The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
其他題名:
The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation
作者:
張振平
出版者:
臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, : 民88[1999],
面頁冊數:
vi,42面 : 圖,表格 ; 30公分
附註:
主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
標題:
工業安全 -
晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
張振平
晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 =
The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 / The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation張振平研究主持 - 臺北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民88[1999] - vi,42面 : 圖,表格 ; 30公分 - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-A314. - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH88-A314.
主辦單位:行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
參考書目: 面39-42
NT120Subjects--Topical Terms:
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工業安全
晶圓製造業之離子植入製程化學性危害評估研究 = = The evaluation of gaseous chemical hazard in preventive maintenance process of ion implantation : 預防保養及操作過程之化學性氣體危害 /
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八十八年度研究計畫;研究期間: 中華民國87年7月1日至88年6月30日
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館藏地:
全部
罕用書庫123室(美崙校區,調書請點預約)(RU_123)
出版年:
卷號:
館藏
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GE0025795
罕用書庫123室(美崙校區,調書請點預約)(RU_123)
01.外借(書)_YB
一般圖書
555.56 9138 1999:A314
一般使用(Normal)
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