半導體電漿製程的錯誤診斷與預測 = = Analysis of the...
吳秉翰

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  • 半導體電漿製程的錯誤診斷與預測 = = Analysis of the time series and multi-variate model for fault detection and prediction in the semiconductor plasma using wider range of spectrum as multi-sensor : 時間序列的光譜多變數模型與分析 /
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
    正題名/作者: 半導體電漿製程的錯誤診斷與預測 = / 吳秉翰撰
    其他題名: Analysis of the time series and multi-variate model for fault detection and prediction in the semiconductor plasma using wider range of spectrum as multi-sensor : 時間序列的光譜多變數模型與分析 /
    其他題名: Analysis of the time series and multi-variate model for fault detection and prediction in the semiconductor plasma using wider range of spectrum as multi-sensor
    作者: 吳秉翰
    出版者: [花蓮縣] : 國立東華大學電機工程學系, : 民94[2005],
    面頁冊數: 11,94面 : 圖,表 ; 30公分
    附註: 指導教授︰陳炳宏
    標題: 時間序列 -
    電子資源: http://134.208.10.124/ETD-db/ETD-search-c/view_etd?URN=etd-0722105-124331PDF全文
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館藏
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