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低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = = S...

張哲維

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博客來

低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = = Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering /

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = / 張哲維撰
其他題名:	Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering /
其他題名:	Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering
作者:	張哲維
其他作者:	翁明壽
出版者:	[花蓮縣壽豐鄉] : [國立東華大學材料科學與工程學系], : 2012[民101],
面頁冊數:	13,120面 : 圖,表 ; 30公分
附註:	本論文數位化公開閱覽日期為2013年7月27日(申請專利中,紙本暫不公開陳列)
電子資源:	http://hdl.handle.net/11296/f5pm85

低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = = Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering /
張哲維

低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering / Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering張哲維撰 - 初版 - [花蓮縣壽豐鄉] : [國立東華大學材料科學與工程學系], 2012[民101] - 13,120面 : 圖,表 ; 30公分

本論文數位化公開閱覽日期為2013年7月27日(申請專利中,紙本暫不公開陳列)

碩士論文-- 國立東華大學材料科學與工程學系

參考書目:面115-120

贈閱Subjects--Index Terms:

反應性濺鍍

低溫反應性濺鍍氧化鋁與鋁鉻氧化物薄膜之結構與機械性質的探討 = = Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering /
LDR:01334cam a2200325 i 4500 001 1284591
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246 1 1 $a Structures and mechanical properties of alumina and aluminum-chromium oxide thin film by low temperature reactive magnetron sputtering
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500 $a 本論文數位化公開閱覽日期為2013年7月27日(申請專利中,紙本暫不公開陳列)
500 $a 指導教授:翁明壽
502 $a 碩士論文-- 國立東華大學材料科學與工程學系
504 $a 參考書目:面115-120
504 $a 含附錄
563 $a 贈閱
653 0 # $a 反應性濺鍍
653 0 # $a 氧化鋁
653 0 # $a 鋁鉻氧化物薄膜
653 0 # $a 硬膜
653 0 # $a reactive sputtering
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700 1 # $a Chang, Jhe-Wei $3 3035491
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