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半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = = The sim...

張振平

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博客來

半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = = The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) / . 二

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:	半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = / 張振平研究主持 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦.
其他題名:	The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) /
其他題名:	The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II)
作者:	張振平
出版者:	臺北縣汐止市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, : 民91[2002],
面頁冊數:	169面 : 圖 ; 29公分
附註:	九十年度研究計畫

半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = = The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) / . 二
張振平

半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) / 二The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II)張振平研究主持 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦. - 初版 - 臺北縣汐止市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民91[2002] - 169面 : 圖 ; 29公分 - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH90-H308. - IOSH勞工安全衛生研究報告 ; IOSH90-H308.

九十年度研究計畫

參考書目: 面117

NT100

半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = = The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) / . 二
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100 1 $a 張振平 $e 研究主持 $3 2331541
245 1 0 $a 半導體製程尾氣利用熱泳控制氣膠沈著技術現場模擬 = $b The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II) / $c 張振平研究主持 ; 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所計畫主辦. $n 二
246 1 1 $a The simulation of aerosol deposition by thermophersis in the tail gas duct (II)
250 $a 初版
260 $a 臺北縣汐止市 : $b 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, $c 民91[2002]
300 $a 169面 : $b 圖 ; $c 29公分
490 1 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH90-H308
500 $a 九十年度研究計畫
500 $a 部份內容中英對照
504 $a 參考書目: 面117
563 $a NT100
710 2 $a 行政院 $b 勞工委員會 $b 勞工安全衛生研究所 $e 計畫主辦 $3 2398711
830 0 $a IOSH勞工安全衛生研究報告 ; $v IOSH90-H308 $3 2460351