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陳大坤
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反應濺鍍AlCoCrCuFeNi多元氮化物及氧化物薄膜之製備、結構與性質研究 = = Preparation, Structure and Properties of AlCoCrCuFeNi Multi-element Nitride and Oxide Films by Reactive Sputtering /
by: 陳大坤
(書目-語言資料,印刷品)
主題
多元氧化物薄膜
尖晶石氧化物
多元合金薄膜
透明導電氧化物
多元氮化物薄膜
高熵合金
非晶質薄膜
硬覆膜
p型半導體
反應磁控濺鍍
處理中
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