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鄭永彬
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立方氮化硼薄膜及立方氮化硼薄膜/奈米晶粒鑽石薄膜之製備與性質 = = Preparation and Characterization of c-BN and c-BN on Nanodiamond Thin Films in BF3-N2-H2-Ar System /
by: 鄭永彬
(書目-語言資料,印刷品)
主題
奈米晶粒鑽石
立方氮化硼
微波電漿化學氣相沉積
緩衝層
硬膜
處理中
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