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Ghodssi, Reza.

概要

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書目資訊

MEMS materials and processes handbook by: Ghodssi, Reza.; Lin, Pinyen.; SpringerLink (Online service) (書目-電子資源)

主題

Microelectromechanical systems. Electronics and Microelectronics, Instrumentation. Surfaces and Interfaces, Thin Films. Materials Science, general. Circuits and Systems. Microelectromechanical systems- Materials. Engineering.

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